HET Project Voor Depositie (HET-PVD)

Aanleiding
De elektronica-industrie stelt steeds hogere eisen aan coatingtechnologieën: extreem dunne lagen, hoge zuiverheid en energieefficiëntie zijn cruciaal voor next-gen toepassingen. Huidige Physical Vapor Deposition (PVD)-technologieën, zoals magnetron sputtering, voldoen niet langer aan deze eisen en zijn bovendien energie-intensief. Tegelijkertijd groeit de druk vanuit regelgeving en de markt om productieprocessen te verduurzamen. Halltech heeft een unieke oplossing bedacht waarin Hall Effect Truster (HET)-technologie (oorspronkelijk ontwikkeld voor satellietpositionering) wordt ingezet als energie-efficiënte plasma-bron voor sputterdepositie. De technologie biedt een combinatie van hoge precisie, lage vervuiling en laag energieverbruik. Halltech heeft dit concept inmiddels in een prototype bewezen. Deze haalbaarheidsstudie moet uitwijzen of industriële opschaling van de technologie technisch en economisch haalbaar is. En staat aan de basis van de ontwikkeling van een nieuwe generatie PVDsystemen die bijdragen aan CO2-reductie in de Nederlandse industrie.

Doelstelling
Doel van dit project is het onderzoeken van de technische en economische haalbaarheid van het vervolgtraject. In dit vervolgtraject zal de HET-PVD-technologie worden ontwikkeld op industriële schaal. Hiervoor zal een pilot worden gerealiseerd, waarmee het proces op relevante schaal en in een relevante omgeving getest en doorontwikkeld zal worden. Deze beoogde pilot is een belangrijke stap in de ontwikkeling van de HET-PVD-technologie tot een commercieel haalbare productietechnologie.

Korte omschrijving
Binnen dit project zal door HallTech gewerkt worden om de technische en economische haalbaarheidsvragen te beantwoorden door middel van deskresearch, marktonderzoek en risicoanalyses. Testwerkzaamheden zullen ter beantwoording van de haalbaarheidsvragen worden uitgevoerd in samenwerking met de University of Southampton en leveranciers van verschillende onderdelen. Na afronding van het onderzoek zullen alle bevindingen worden gebundeld en geanalyseerd in een rapport, wat zal dienen als basis voor een go/no-go beslissing voor het beoogde vervolgproject.

Resultaat
Het resultaat van deze haalbaarheidsstudie zal zijn: een goed onderbouwde technische en economische basis voor het kunnen nemen van een go/no-go beslissing om het beoogde vervolgtraject te starten. De kosten en baten, marktpotentie, risico's en slaagkans van het pilotproject zijn in kaart gebracht en hebben geleid tot inzicht in de benodigde stappen en de haalbaarheid van het pilotproject. Na het project zal dit project leiden tot de ontwikkeling van de HET-PVD-technologie op pilotschaal en bij een succesvol pilotproject tot ontwikkeling naar commerciële schaal en commercialisatie van de technologie. Daarmee kan kwalitatief sterk alternatief voor bestaande PVD-technologieën geboden worden met een reductie in energieconsumptie tot 90%. Met het gebruik van slechts één systeem leidt dit tot een CO2-emissiereductie van 84.672 kg per jaar. Wanneer de beoogde 800 installaties binnen 10 jaar na start van het project worden verkocht, kan dit leiden tot een CO2-emissiereductie van tot 67.738 ton CO2 per jaar binnen de elektronica-industrie.